Spisu treści:
- Definicja - Co oznacza system mikroelektromechaniczny (MEMS)?
- Techopedia wyjaśnia system mikroelektromechaniczny (MEMS)
Definicja - Co oznacza system mikroelektromechaniczny (MEMS)?
System mikroelektromechaniczny (MEMS) to mały moduł mechaniczny napędzany energią elektryczną. NEMS łączy komputery z modułami mechanicznymi, takimi jak czujniki, siłowniki i lustra. Są to ekonomiczne systemy wykorzystujące zmodyfikowaną technologię wytwarzania urządzeń.
MEMS mają różnorodne zastosowania i są dostępne w szerokim zakresie podejść do projektowania, wykorzystując różne komponenty, miniaturyzację i nowe standardowe zintegrowane systemy elektromechaniczne. MEMS może być stosowany do trawienia na mokro, takiego jak wodorotlenek potasu (KOA), trawienia na sucho, takiego jak głębokie trawienie jonami reaktywnymi (DRIE), formowanie i powlekanie, elektroerozyjne maszyny (EDM) i inne technologie, które produkują małe urządzenia.
Układ mikroelektromechaniczny może być również określany jako układ mikroelektroniczny, mikromaszyna, technologia mikrosystemów lub materia inteligentna.
Techopedia wyjaśnia system mikroelektromechaniczny (MEMS)
MEMS może być mniejszy niż szerokość ludzkiego włosa i może zawierać kilka składników, takich jak:
- Mikroczujniki
- Mikroczynniki
- Mikroprocesory
- Jednostki centralne do przetwarzania danych
- Komponenty do interakcji z elementami zewnętrznymi
MEMS mają duży stosunek powierzchni do objętości i są zbudowane przy użyciu technologii wytwarzania krzemu.
Urządzenie MEMS zawiera mikroukład, który jest umieszczony na małym krzemowym układzie scalonym używanym z elementami mechanicznymi. Technologia obsługuje wiele różnych urządzeń, które kontrolują, wykrywają lub aktywują procesy mechaniczne, działając jednocześnie jako macierz lub indywidualnie.
Obecnie MEMS obejmuje w swojej architekturze jednego odrębnego mikrosenora lub mikroakoru, ale w przyszłości mogą wystąpić bardziej złożone poziomy asymilacji. Następnym rozwiązaniem może być włączenie wielu indywidualnych funkcji do jednego systemu.
