Spisu treści:
Definicja - Co oznacza nanolitografia?
Nanolitografia jest gałęzią nanotechnologii i nazwą procesu nadrukowywania, pisania lub trawienia wzorów na poziomie mikroskopowym w celu stworzenia niewiarygodnie małych struktur. Ten proces jest zwykle wykorzystywany do tworzenia mniejszych i szybszych urządzeń elektronicznych, takich jak mikro / nanochipy i procesory. Nanolitografia jest wykorzystywana głównie w różnych sektorach technologii, od elektronicznej po biomedyczną.Techopedia wyjaśnia nanolitografię
Nanolitografia jest szerokim terminem stosowanym do opisywania różnych procesów tworzenia nanoskalowych wzorów na różnych mediach, z których najczęstszym jest krzem z materiału półprzewodnikowego. Głównym celem nanolitografii jest kurczenie się urządzeń elektronicznych, co pozwala na stłoczenie większej liczby części elektronicznych w mniejszych przestrzeniach, tj. Mniejsze układy scalone, które dają mniejsze urządzenia, które są szybsze i tańsze w produkcji, ponieważ potrzeba mniej materiałów. Zwiększa to również wydajność i czas reakcji, ponieważ elektrony muszą przebyć tylko bardzo krótkie odległości.
Niektóre techniki stosowane w nanolitografii są następujące:
- Litografia rentgenowska - wdrożona dzięki drukowi zbliżeniowemu i polega na promieniach X bliskiego pola w dyfrakcji Fresnela. Wiadomo, że rozszerza swoją rozdzielczość optyczną do 15 nm.
- Podwójne wzornictwo - metoda stosowana w celu zwiększenia rozdzielczości skoku procesu litograficznego poprzez drukowanie dodatkowych wzorów między przestrzeniami już wydrukowanych wzorów na tej samej warstwie.
- Litografia elektronowa z bezpośrednim zapisem (EBDW) - Najczęstszy proces stosowany w litografii, w którym do tworzenia wzorów wykorzystuje się wiązkę elektronów.
- Ekstremalna litografia ultrafioletowa (EUV) - forma litografii optycznej wykorzystująca ultrakrótkie fale świetlne o długości 13, 5 nm.
